【上證報(bào)專訪】晶瑞股份吳天舒：突破光刻膠只是一小步......（轉(zhuǎn)）

發(fā)布日期:2021-02-03 10:38:48   瀏覽次數(shù):4833   來源:晶瑞股份

     研發(fā)一款新產(chǎn)品，光買設(shè)備就要花2億元，而且3年內(nèi)無法產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益，做不做？

     “為了解決‘卡脖子’問題，再大的投入也得上這個(gè)項(xiàng)目。”近日，晶瑞股份董事長吳天舒在接受上海證券報(bào)記者專訪時(shí)表示，公司瞄準(zhǔn)的就是“卡”我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)脖子的高端集成電路用光刻膠。

　　“我們期望3年內(nèi)完成ArF光刻膠的產(chǎn)業(yè)化。”吳天舒表示，晶瑞股份把助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展當(dāng)成使命和目標(biāo)，將圍繞光刻膠及周邊，自主研發(fā)產(chǎn)品族群。據(jù)了解，除了光刻膠，晶瑞股份在高純雙氧水、高純硫酸、高純氨水等領(lǐng)域的布局也漸次開花結(jié)果。

　　“公司的KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測試階段，爭取3年內(nèi)完成ArF光刻膠的量產(chǎn)。”吳天舒告訴記者，購入浸沒式光刻機(jī)，將加速更高端的ArF光刻膠的研發(fā)，盡早解決半導(dǎo)體光刻膠“卡脖子”問題。“我們?cè)谠牧仙弦炎隽藘?chǔ)備，光刻機(jī)到貨就可以建立測試平臺(tái)。”

　　一個(gè)背景是，越先進(jìn)的芯片制程技術(shù)，需要波長越短的光刻膠，光刻膠的研發(fā)難度也越大。目前，全球用量最大的是先進(jìn)的KrF（248nm）、ArF（193nm）光刻膠，最先進(jìn)的則是EUV（<13.5nm）光刻膠。

　　“ArF光刻膠覆蓋到晶圓制造的28nm制程，可滿足除手機(jī)芯片外的大部分芯片國產(chǎn)化需要，對(duì)信息化建設(shè)意義巨大，是當(dāng)前最亟需實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化的半導(dǎo)體材料之一。”吳天舒透露，未來適當(dāng)時(shí)機(jī)會(huì)開展EUV光刻膠的研發(fā)。

　　在已有多家上市公司表示要進(jìn)軍光刻膠領(lǐng)域的情況下，晶瑞股份有什么優(yōu)勢和絕招？

　　“不止是配方、原材料的難題，更難的是產(chǎn)品的穩(wěn)定性和一致性。”吳天舒解釋稱，從研發(fā)看，高端光刻膠配方難度大，部分稀缺的原材料被幾家巨頭壟斷；產(chǎn)業(yè)化方面，晶圓廠的先進(jìn)工藝對(duì)光刻膠要求苛刻，要求多個(gè)批次的光刻膠在性能、穩(wěn)定性、一致性上必須做到毫無差異，這就要求光刻膠廠商有極強(qiáng)的質(zhì)量管控能力。

　　“從業(yè)28年，晶瑞股份在研發(fā)和管控上都有豐富經(jīng)驗(yàn)和顯著優(yōu)勢。”吳天舒告訴記者，目前公司的i線光刻膠已向多家半導(dǎo)體頭部公司供貨。

　　“以光刻膠為中心，瞄準(zhǔn)量大、面廣，不斷開拓周邊產(chǎn)品。”對(duì)于公司的泛半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)戰(zhàn)略，吳天舒介紹說，公司圍繞半導(dǎo)體光刻工藝，布局了高純硫酸、高純雙氧水、高純氨水等超凈高純化學(xué)試劑。此外，公司還有滿足平板顯示、太陽能等行業(yè)的硝酸、鹽酸、氫氟酸等超凈高純?cè)噭?/span>

　　為什么要布局這么多的電子化學(xué)品品類？“這是由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)特性決定的。”吳天舒稱，晶圓制造是一個(gè)復(fù)雜的過程，需要上百道工序、幾十種濕法化學(xué)品，而每一個(gè)品類的用量相對(duì)又比較小。晶圓廠希望一家廠商供應(yīng)盡可能多的試劑，來減少采購和品控壓力。在這種情況下，公司供應(yīng)的品類增加，有助于擴(kuò)大經(jīng)營規(guī)模、增厚利潤、提升競爭力。

　　“高純雙氧水已經(jīng)放量，高純硫酸項(xiàng)目快速推進(jìn)中……”吳天舒如數(shù)家珍地介紹著每一個(gè)項(xiàng)目的進(jìn)展。

　　記者注意到，2020年11月，晶瑞股份舉行了年產(chǎn)9萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體高純硫酸一期項(xiàng)目落成典禮，一期3萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體高純硫酸項(xiàng)目即將正式投產(chǎn)。

　　有業(yè)內(nèi)人士解讀稱，相較于光刻膠，高純硫酸在半導(dǎo)體領(lǐng)域的用量更大，也是亟需國產(chǎn)化的材料，高純硫酸項(xiàng)目有望成為晶瑞股份未來2年的利潤增長點(diǎn)。

　　記者了解到，晶瑞股份還開展了功能性材料業(yè)務(wù)，主要是以光刻膠配套試劑為主的顯影液、剝離液、蝕刻液和清洗液等復(fù)配材料，并已向半導(dǎo)體頭部公司實(shí)現(xiàn)批量供貨。

　　如此巨大的研發(fā)投入，晶瑞股份拿什么來支撐？

　　“用新能源材料業(yè)務(wù)反哺電子化學(xué)品業(yè)務(wù)。”吳天舒表示，公司深知電子化學(xué)品研發(fā)周期長、單品起量慢，為了支撐電子化學(xué)品業(yè)務(wù)的持續(xù)研發(fā)，公司布局了可快速盈利的新能源材料業(yè)務(wù)。據(jù)悉，晶瑞股份的鋰電池材料產(chǎn)品主要有鋰電池粘結(jié)劑、CMC以及NMP（N-甲基吡咯烷酮）、電解液等。

　　“CMC-Li將成為公司新的利潤增長點(diǎn)。”吳天舒介紹，目前鋰電池負(fù)極材料普遍用羧甲基纖維素鈉（CMC-Na），該材料80%的市場份額為日韓企業(yè)把控。為實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，公司自主研發(fā)了全新的負(fù)極用纖維素增稠劑——CMC-Li（羧甲基纖維素鋰），該產(chǎn)品能更好地提高LFP（磷酸鐵鋰）電極材料與電解液之間的界面性能，有效降低電荷轉(zhuǎn)移電阻，增強(qiáng)電化學(xué)反應(yīng)活性和動(dòng)力學(xué)性能。

　　“在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，晶瑞股份即將與中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一起迎來春天。”吳天舒表示。

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